| 发明名称 |
Microwave excited excimer laser and method |
| 摘要 |
A microwave pumped excimer laser and method.
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| 申请公布号 |
US4802183(A) |
申请公布日期 |
1989.01.31 |
| 申请号 |
US19820366384 |
申请日期 |
1982.04.07 |
| 申请人 |
BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY |
发明人 |
HARRIS, STEPHEN E.;YOUNG, JAMES F. |
| 分类号 |
H01S3/0975;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/22 |
主分类号 |
H01S3/0975 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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