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发明名称
Method of measuring oxygen in silicon
摘要
申请公布号
US4800747(A)
申请公布日期
1989.01.31
申请号
US19880157852
申请日期
1988.02.18
申请人
HORIBA, LTD.
发明人
TSUJI, KATSUYA;YAMADA, TAKESHI;UCHIHARA, HIROSHI
分类号
G01N1/28;G01N1/22;G01N21/35;G01N33/00;(IPC1-7):G01N31/12
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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