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经营范围
发明名称
MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6428573(A)
申请公布日期
1989.01.31
申请号
JP19870183383
申请日期
1987.07.24
申请人
HITACHI LTD;HITACHI SETSUBI ENG KK
发明人
OSAWA MASAAKI;MORITA YOSHITOMO
分类号
G01R31/317;G01D21/00;G01R31/28;G08C19/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/317
代理机构
代理人
主权项
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