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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6427264(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870183897 申请日期 1987.07.22
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUURA SOHEI
分类号 H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/41;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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