发明名称 FORMATION OF CUINSE2 FILM
摘要
申请公布号 JPS6428380(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870184972 申请日期 1987.07.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 HAMA TOSHIO
分类号 C23C24/10;C23C26/00;H01L21/368 主分类号 C23C24/10
代理机构 代理人
主权项
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