发明名称 SPIN COATING
摘要
申请公布号 JPS6427667(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870179940 申请日期 1987.07.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 BETSUI KEIICHI
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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