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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPS6427153(A)
申请公布日期
1989.01.30
申请号
JP19870181062
申请日期
1987.07.22
申请人
HITACHI LTD
发明人
ABE KATSUNOBU
分类号
H01L21/66;H01J37/317
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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