发明名称 CRUCIBLE OF VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6428366(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870184320 申请日期 1987.07.22
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 SHINOHARA MAKOTO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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