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经营范围
发明名称
WET TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6425539(A)
申请公布日期
1989.01.27
申请号
JP19870181093
申请日期
1987.07.22
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD
发明人
OKADA TSUNEO;TAKEUCHI YOSHIAKI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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