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发明名称 PHOTORESIST APPLYING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6425536(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870181214 申请日期 1987.07.22
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD;MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD 发明人 ITO YOSHIO;TANAKA YASUHIRO
分类号 B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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