发明名称 |
MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6425474(A) |
申请公布日期 |
1989.01.27 |
申请号 |
JP19870181489 |
申请日期 |
1987.07.21 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUMOTO SHIGERU;EZAKI TAKEYA |
分类号 |
H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/08;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/088 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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