发明名称 GROWING METHOD FOR BORON PHOSPHORUS SILICATE GLASS FILM
摘要
申请公布号 JPS6425545(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870182650 申请日期 1987.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OHASHI SHUICHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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