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发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPS6425419(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870181506 申请日期 1987.07.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TATEIWA KENJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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