发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6426173(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870183169 申请日期 1987.07.22
申请人 NEC CORP 发明人 FUJINAMI KATSUMI
分类号 G01R31/317;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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