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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6425974(A)
申请公布日期
1989.01.27
申请号
JP19870179754
申请日期
1987.07.17
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
YAMAHARA NOBORU;HASHIMOTO HAJIME
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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