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发明名称 DATA CONVERTING APPARATUS OF ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6425534(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870181073 申请日期 1987.07.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWANO MASAMICHI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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