发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6425410(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870181509 申请日期 1987.07.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI JURO;OGAWA SHINICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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