发明名称 |
ION BEAM IRRADIATION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6424347(A) |
申请公布日期 |
1989.01.26 |
申请号 |
JP19870180298 |
申请日期 |
1987.07.20 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUJISHITA NAOMITSU;SHONO KAZUHIRO;SASAKI SHIGEO |
分类号 |
H01J37/305;C23C14/48;H01J37/08 |
主分类号 |
H01J37/305 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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