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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6424346(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870180256 申请日期 1987.07.20
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MATSUOKA SHIGETO;ONO KENICHI
分类号 H01J27/16;H01J37/08;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
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