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发明名称 PHOTOSENSOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6424469(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870181957 申请日期 1987.07.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 IMAI HIDEKI;KAWADA HIROSHI;OSUMI MASATO
分类号 H01L31/04 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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