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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6423574(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870178993 申请日期 1987.07.20
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KOBAYASHI TOSHIO;INOKAWA HIROSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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