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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6423538(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870179048 申请日期 1987.07.20
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAMOTO HIRONOBU
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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