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发明名称
CLASSIFICATION OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6423546(A)
申请公布日期
1989.01.26
申请号
JP19870179744
申请日期
1987.07.18
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
OKAWA MITSUO
分类号
H01L21/66;H01L21/82;H01L29/861
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
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