发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6424088(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870179047 申请日期 1987.07.20
申请人 NEC CORP 发明人 KITANO TOMOHISA
分类号 C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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