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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6424461(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870181615 申请日期 1987.07.20
申请人 NEC CORP 发明人 ASAKURA FUJIO
分类号 H01L23/522;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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