发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6424430(A) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19870180860 申请日期 1987.07.20
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MINAMI KOBO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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