| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATED READING OF VERNIER PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0272853(A3) |
申请公布日期 |
1989.01.25 |
| 申请号 |
EP19870310918 |
申请日期 |
1987.12.11 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
KUYEL, BIROL |
| 分类号 |
G05D3/12;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G05D3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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