镜面平整度的美尔条纹测试方法及其装置

摘要

镜面平整度的莫尔条纹测试方法及装置，其特点是让光栅和镜面接近式地平行配置，掠射式地观察光栅与它在镜面中的虚象光栅间的叠合而形成的莫尔条纹。利用本发明设计的装置，它具有面光源，光栅测量台，及成象系统。可以把半导体工业用的硅片、掩膜板及家用冰箱压缩机阀片等放于光栅测量台的支承点，或面上，让其处于自由放置状态，观测它与支承点接触一侧的面型平整度。精度可达微米级。

主权项

1、一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量方法，其特征在于让光栅和镜面接近式地平行配置，掠射式地观测光栅和它在镜面中的虚象光栅间的叠合而产生的镜面莫尔轮廓条纹。