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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6421948(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870177045 申请日期 1987.07.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITABASHI KAZUO
分类号 H01L27/092;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/08 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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