| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT METHOD USING POLYCRYSTALLINE LAYERS AND CONTACTS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0276695(A3) |
申请公布日期 |
1989.01.25 |
| 申请号 |
EP19880100448 |
申请日期 |
1988.01.14 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC. |
发明人 |
ZDEBEL, PETER J.;BALDA, RAYMOND J.;HWANG, BOR-YUAN;WAGNER, ALLEN J. |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/08;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/808;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
