发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6422055(A) |
申请公布日期 |
1989.01.25 |
申请号 |
JP19870179293 |
申请日期 |
1987.07.17 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OKODA TOSHIYUKI;TABATA TERUO;KANETAKE YUKIO |
分类号 |
H01L21/74;H01L21/761;H01L21/8226;H01L27/08;H01L27/082 |
主分类号 |
H01L21/74 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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