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经营范围
发明名称
PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6422041(A)
申请公布日期
1989.01.25
申请号
JP19870178735
申请日期
1987.07.17
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ABE YUICHI
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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