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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6421940(A)
申请公布日期
1989.01.25
申请号
JP19870178263
申请日期
1987.07.16
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAMORI NOBUAKI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/76
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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