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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR JUDGING END POINT OF ETCHING AND USAGE THEREOF
摘要
申请公布号
JPS6421927(A)
申请公布日期
1989.01.25
申请号
JP19870176976
申请日期
1987.07.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
ITO ATSUSHI;HAMAZAKI RYOJI;TSUBONE TSUNEHIKO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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