| 发明名称 |
LOW TEMPERATURE DRY ETCHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6421926(A) |
申请公布日期 |
1989.01.25 |
| 申请号 |
JP19870177000 |
申请日期 |
1987.07.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANETOMO MASABUMI;TAJI SHINICHI;TSUJIMOTO KAZUNORI;MUKAI KIICHIRO;OGURO TAKAHIRO;KIEDA SHIGEKAZU |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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