发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6422047(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870179609 申请日期 1987.07.17
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIMOTO SHOZO
分类号 H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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