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发明名称 SAMPLE TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8828969(D0) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 GB19880028969 申请日期 1988.12.12
申请人 VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED 发明人
分类号 C23C14/50;C30B23/02;C30B35/00;H01L21/00;(IPC1-7):B01L1/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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