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发明名称 Negative resist compositions
摘要
申请公布号 US4800152(A) 申请公布日期 1989.01.24
申请号 US19870026425 申请日期 1987.03.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ALLEN, ROBERT D.;FRECHET, JEAN M. J.;TWIEG, ROBERT J.;WILLSON, CARLTON G.
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/71 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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