| 发明名称 |
VAPOR GROWTH METHOD AND DEVICE UNDER REDUCED PRESSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6421075(A) |
申请公布日期 |
1989.01.24 |
| 申请号 |
JP19870178520 |
申请日期 |
1987.07.17 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
MORISAKO ISAMU;MITO HIDEO;NUMAJIRI KENJI |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C16/08;C23C16/52;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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