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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6420664(A) 申请公布日期 1989.01.24
申请号 JP19870176464 申请日期 1987.07.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ASAHI YOSHINORI
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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