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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6413725(U)	申请公布日期	1989.01.24
申请号	JP19870108235U	申请日期	1987.07.16
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L21/56;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/56	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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