发明名称 GAS MASS FLOW RATE CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6421512(A) 申请公布日期 1989.01.24
申请号 JP19870178262 申请日期 1987.07.16
申请人 NEC CORP 发明人 MIYOSHI HIDEKAZU
分类号 G05D7/06 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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