发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6418242(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870173792 申请日期 1987.07.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 IMANISHI SADAYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/283;H01L21/31 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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