发明名称 FORMATION OF DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6418991(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870173229 申请日期 1987.07.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UENO AKIRA;KITAHATA MAKOTO;FUKUDA TOMIYO;YAMAZAKI OSAMU
分类号 C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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