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发明名称 MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS6418801(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870175638 申请日期 1987.07.14
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 OKUYAMA SATORU
分类号 F16K31/02;G05B15/02 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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