发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6418230(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870175336 申请日期 1987.07.14
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUZUKI KENJI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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