发明名称 CONTROL METHOD FOR CRITICAL TEMPERATURE OF SUPERCONDUCTOR BY ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 JPS6419627(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870175108 申请日期 1987.07.13
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUI SHINJI;MATSUDERA HISAO;KUBO YOSHIMI
分类号 C04B41/80;C01G1/00;C30B29/22;C30B31/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/06;H01L39/24 主分类号 C04B41/80
代理机构 代理人
主权项
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