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发明名称 GAS PHASE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6419651(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870175632 申请日期 1987.07.14
申请人 JEOL LTD 发明人 SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J27/26;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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