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发明名称 WORK-COOLING DEVICE FOR ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6417863(A) 申请公布日期 1989.01.20
申请号 JP19870173899 申请日期 1987.07.14
申请人 NIPPON STEEL CORP;ULVAC CORP 发明人 HOSHINO TAIZO;SHIROU AIJI;NAKAMORI YUKIO;KAMIOKA HIDEAKI;UZAWA NOBORU;KASHIMOTO KAZUHIRO;FUDA TAKENOBU
分类号 C23C14/48;C23C14/50 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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