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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS6417399(A)
申请公布日期
1989.01.20
申请号
JP19870172635
申请日期
1987.07.10
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
HAMADA YUUKI;TANAKA SUSUMU
分类号
H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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